La superficie viene sottoposta a etching attraverso un gas di processo reattivo. Durante tale processo viene rimosso, gassificato e pompato via del materiale. La superficie è aumentata e ha una bagnabilità ottimale.

Applicazioni plasma etching:
- strutturazione di silicio
- buona adesione di colle e vernici di plastiche resistenti alle alte temperature quali ad es. PTFE, PFA e FEP